二手 NIKON NSR 204B #293591907 待售

NIKON NSR 204B是一种垂直轴晶圆步进器，设计用于精确光刻加工直径达8英寸的半导体基板。这种最先进的步进器配备了自动对准和校准系统，以确保所有光刻工艺的精确度、可重复性和可靠性。它还提供了双重曝光源，允许软性和硬性紫外线光源。NIKON NSR-204B配备了专门设计的Coherent Nuvo Aligner （CNA）。CNA采用三维模式测量技术，自动扫描晶圆，确保与所需模式对齐。其先进的控制设备允许精确控制暴露，包括暴露时间和暴露水平。这样可以确保准确和可重复的过程参数,从而提高设备产量。步进器具有先进的步进级和阶段移动指挥系统。步进器的级定位单元使用直接驱动电动机和绝对轴线性编码器，以确保精确的运动，以及在所有进程中的可重复性。步进器的舞台移动命令机允许在多个阶段之间同步运动，允许晶圆上的模式和结构精确对齐，而不会影响分辨率。NSR 204B使用高功率KrF准分子激光器在晶圆上提供均匀的曝光。激光工具基于离子辅助沉积，这是一种用于确保在敏感的半导体过程中不会造成伪影的均匀清洁薄膜的技术。资产还使用智能对象识别模型（SORS）来准确识别对齐软件中的对象并允许精确定位。NSR-204B符合所有行业标准的环境要求,并符合JEITA环境准则。这为用户提供了在无尘环境中最可靠的操作。总体而言,NIKON NSR 204B是光刻过程中可靠而强大的晶圆步进器。它配备了先进的自动化对准、校准和曝光系统，以确保精度和可重复性，并提供出色的产量和效果。NIKON NSR-204B具有高效、准确的工艺参数,是高效、高批量、高质量生产的理想选择。