二手 NIKON NSR 204B #293628542 待售

NIKON NSR 204B是NIKON Corporation制造的晶圆步进器，用于半导体工业。它有一个4英寸的晶圆步进器，晶圆尺寸为3英寸、4英寸和6英寸。NIKON NSR-204B设计用于半导体生产过程,如蚀刻、光刻、检查和扫描。NSR 204B配备了一个20毫米圆形扫描透镜，允许在晶圆的整个表面上曝光光刻膜。NSR-204B的动态精度为60纳米，曝光时间仅为1秒。它具有双涡流驱动设备,可减少扫描振动,并对快速扫描速度和移动提供高响应。NIKON NSR 204B专为高重复性而设计，最大模煳区为2微米。它具有6微米的图样精度，具有平坦的表面，以确保图样曝光的高精度。NIKON NSR-204B还具有高效的防反射涂层，以最大程度地减少反射率，最大程度地减少因干扰而造成的曝光损失。NSR 204B配备了电动狭缝扫描系统，为狭缝扫描曝光提供高精度和稳定性。无论由空白晶片和切割曝光晶片重迭形成的图样类型如何，切割曝光精度都保持不变。狭缝扫描速度为每秒1微米，而切割曝光速度为每秒5微米。NSR-204B由NCU 2000 CNC数据接口单元控制,该单元能够控制其曝光过程、晶圆运动、速度和定位。它有一个自检机器，可以在监控扫描镜头位置和速度、曝光参数设置和资产性能的同时识别潜在的刀具不规则性。NIKON NSR 204B设计方便维护,可快速更换。所有零件都是为方便检查和维护而设计的。NIKON NSR-204B还具有防止意外断电时晶圆曝光的安全功能。它还具有自动校准功能，用于曝光精度和晶片的超声波清洗。