二手 NIKON NSR 204B #293805264 待售

NIKON NSR 204B是一种多场、高精度微光刻步进器，专为在晶圆上集成光学而设计。NIKON NSR-204B提供了广泛的高分辨率步进能力，如先进的多场对准和焦点控制，高吞吐量和可重复性，并确保了生产复杂半导体器件的准确性和产量。NSR 204B的高级对齐系统通过在大面积上对齐多个字段,提高了精确的运动和跟踪精度。它还提供快速的位置感测和对准校正，以确保设备以准确、可重复的方式放置。此外,NSR-204B在曝光期间提供自动聚焦前馈和焦点控制功能,从而可以在整个晶圆曝光期间精确控制焦点水平。NIKON NSR 204B还提供了一个高通量、可重复的高级晶圆曝光过程。其高精度的3轴线性示踪器和光机编码器提供精确的晶圆跟踪和精确的场对准。此外,步进器还提供独特的多场曝光模式,使大型晶圆尺寸能够并行曝光,同时还提供高速扫描机制,可将曝光时间缩短30%。此外,NIKON NSR-204B还提供高级计量功能,例如离轴临界尺寸测量和缺陷检查。它的自动调节程序允许设备形状和尺寸的优化，而其先进的光学系统则确保了精确的图样放置和高分辨率成像。它的自动化曝光优化系统还允许对曝光参数进行实时监控，以确保晶圆准确快速曝光。总体而言，NSR 204B是一种高精度的微光刻步进器，专为集成晶片上的光学器件而设计。其先进的特性和能力保证了精确和可重复的晶片曝光，为微加工提供了可靠和经济高效的解决方桉。