二手 NIKON NSR 204B #9350967 待售

NIKON NSR 204B是一种半导体光刻工具，用于制造集成电路及相关产品。它用于将图样传输到材料的晶片上，从而可以定义集成电路中的电子特性。NIKON NSR-204B基于NIKON NSR-S203B Step and Scan设备。它是一种先进的成像系统，采用二维（2D）对准透镜和照明单元，通过光学机器对标线上的掩模图样进行成像。该仪器是NIKON S203B的改进版本,具有改进的分辨率、对准精度和吞吐量。它比NIKON S203B具有更高的吞吐量，这使得在制造集成电路时可以有更快的处理时间。NSR 204B工具包括扫描仪、对准和照明（A&I）头、标线级和标线级以及光学。扫描仪具有标准的光学布局，由标线、标线对准透镜、标线位置监视器、波长世界扫描CRT和投影透镜组成。扫描仪可以处理多个标线，允许一次多次曝光。"对齐和照明"（Alignment and Illumination） （A&I）头包含镜子、透镜以及用于投影和照亮标线图桉的多个光源。透镜用于将光以特定图样聚焦到标线上。镜子可以针对特定的照明角度倾斜，从而确保图桉的精度。标线级用于投影透镜上标线的安全放置和精确对准。使用激光设备监测和控制标线的位置。NSR-204B光学包括像差校正投影透镜和场平整棱镜。投影透镜用来对晶片上的标线图桉进行成像。磁场展平棱镜用于展平磁场以消除成像过程中的任何像差。NIKON NSR 204B可以处理多种晶圆尺寸，直径从6英寸到8英寸。它还具有低温环境，允许卓越的图像完整性和处理速度。总体而言,NIKON NSR-204B是一种高精度光刻工具,可处理各种晶圆尺寸,并提供出色的分辨率、吞吐量和对准精度。是生产集成电路等相关元件的理想选择。