二手 NIKON NSR 204B #9411783 待售
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NIKON NSR 204B是为半导体工业应用而设计的高分辨率晶圆和标线步进器。它利用5轴扫描级定位,能够实现高达1 nm的精度,同时实现高吞吐量。它具有独特的低失真光学设备,可在大型扫描范围内保持高性能。它还利用双驱动系统和无轴承平台来实现可靠、可重复和快速的扫描性能。NIKON NSR-204B步进器设计用于处理尺寸最大为8英寸的晶圆和标线。机器还有一个内置的自动对焦单元,可以有效地保持光学器件的焦点,而不考虑环境或零件基板的变化引起的焦点位移。它还具有多种高级成像功能,如多次曝光、轮廓检测、缝合、对准和电压对比度选项,以便在用于光刻时具有更大的灵活性和更精细的分辨率。NSR 204B配备了高级流程控制功能。这些功能使工艺工程师能够快速实时分析和验证晶圆/标线对齐方式。它还具有高速图像捕获机和快速数据捕获工具,以及包含预定义对齐和失真校正参数的库。此外,NSR-204B还提供了一个全面的软件套件,为用户提供了一个控制流程、管理数据以及将计算机连接到其较大网络的全面平台。该软件允许用户监控步进器上的过程模拟和程序,并访问和管理历史数据。总体而言,NIKON NSR 204B是寻求半导体光刻加工可靠、准确性能的企业的理想晶圆和标线步进器。它结合了光学、机械和软件组件,为以更高的精度和效率创建高精度零件和产品提供了令人兴奋的可能性。其强大的设计确保了高质量的工艺,提高了产量和易于维护,使其成为企业的一个极好的投资。
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