二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9201722 待售

NIKON NSR 2205 EX12B是一种扫描电子显微镜（SEM）步进器，能够精确成像用于研究和工业应用。该工具适用于各种图样生成，如光刻、蚀刻和溅射以及模具涂层工艺。该装置在一次扫描中对整个区域施加电子束而不会中断。3.2英寸晶圆的最大分辨率为0.80 µm，4-8英寸晶圆的最大分辨率为1.25 µm。此外，该机还配备了可调整到所需角度的背面检测系统和图像投影光学器件。步进器的步进器尺寸为650mm x 500 mm，扫描面积为610mm x 480mm。它配有一大片视野，可用于一次大面积的检查，有助于加快检查过程。它的晶圆曝光时间仅从3.2秒开始，随着连续曝光而缩短。步进器配备了AutoFocus（AF）设备，根据样品高度自动调整光束聚焦。这样可以对样品进行精确的对准和成像。步进器还配备了自动束停止（ABS）系统，在曝光完成时自动停止电子束，确保准确的曝光时间。NIKON NSR-2205EX12B还具有高效的反射器单元，可产生快速的孔径变化和高分辨率，从而进一步优化成像性能。此外，它的12轴对准微步进电动机加上晶圆级提供了极好的精度和重复性。步进器还配备了专用的诊断机器,可用于质量保证测量。此步进器设计为高度用户友好,使用户能够选择各种应用程序配方并轻松更改它们。该设备还提供了模式对齐和匹配工具,用于相对于标尺定位样本以实现精确定位。此外，NSR2205具有较高的数据处理速度，允许晶圆生产过程中连续运行。综上所述,NSR-2205 EX12B是一个可靠且用户友好的SEM步进器,可提供精确的图像和精确的对齐方式。NIKON NSR 2205EX 12 B具有高分辨率和快速数据处理功能,是研究和工业应用的理想工具。