二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9225912 待售
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NIKON NSR 2205 EX12B是为大体积光刻应用而设计的下一代晶圆步进器。NIKON NSR-2205EX12B提供了前所未有的分辨率和精确度来成像各种底物，包括硅、石英、GaN和聚合物。± NSR-2205配备12束光学设备和可扩展的上、下级设备,具有8nm的高步进和重复精度,EX12B能够生产业界领先的70 nm特性尺寸的晶片。NSR 2205EX 12 B的高精度成像能力是由独特、独立的准分子激光系统实现的，该系统产生12束光束图样并允许单次曝光。该装置还提供了18mm x 18mm的宽曝光场和强大的线扫描机制，每小时最多可容纳8000个晶圆。此外,NSR 2205 EX12B还采用了新开发的全场光刻（FSL）算法,使用户能够通过单一掩模协商各种布局元素,以实现业界领先的生产率和成本降低。NSR-2205 EX 12 B还提供了一个创新的图像去定位机，它允许平行曝光和短波长曝光，使低对比度的图像在广阔的领域。这项创新还有助于纠正严重的失调,提供精细的分辨率和更高的准确性。此外,NSR 2205 EX 12 B配备了新开发的校正滤波器,该滤波器使用先进技术,如衍射光栅和在光场上具有恒定强度的成像。对于先进的生产,NIKON NSR-2205 EX12B具有集成的缺陷检测和检查工具以及无CCD对齐资产。集成检测模型自动处理噪声或损坏的图像区域,并调整曝光以获得最佳图像质量,而CCD-Free对准设备可补偿掩模未对准和晶圆放置,从而提供高度精确的曝光场。NIKON NSR 2205 EX 12 B还提供了集成的操作监控和支持系统，使用户能够利用强大的高级功能和能力，包括曝光时间和掩码管理和优化、高级数据分析、图像增强和失真校正、产量改进、缺陷管理等。总体而言,NIKON NSR-2205 EX 12 B是下一代晶圆步进器,具有12束光学单元、单通曝光能力和集成缺陷检测和检测机,可提供卓越的分辨率和准确性。NIKON NSR 2205EX 12 B提供了一个功能强大、高度复杂的平台,允许用户最大限度地提高效率和生产力,同时降低成本。
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