二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9251032 待售
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ID: 9251032
Stepper
Resolution: 280 nm
TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 Coater / Developer system included
Inline left
Wafer specification: Φ8 Orientation flat
Wafer chuck: NIKON Genuine holder
Reticle specification: NIKON Cassette, 6"
PPD
CYMER ELS-5410 Laser.
NIKON NSR 2205 EX12B晶圆步进器是一种先进的半导体光刻工具。该工具以其高精度和可靠的成像性能而闻名。它是一种非常可靠的机器,非常适合半导体工业的大规模生产,需要快速而又高的重复效果。它由两个组成部分组成;装有光学元件和可交换光学柱的主单元。主机组具有多种高端特性,如环境温度范围为16-30C,湿度范围为15-80%。机柜还采用内置电动层流净化设备和冷却系统进行自动清洗。除此之外,主机的尺寸为804x1110x1579mm,重量约990kg。可交换光柱采用功率变焦装置,提供高分辨率成像,是先进芯片制造的理想选择。它利用电子倍增器质谱仪技术,使用户能够精确测量剂量。柱上装有实心场透镜机,产生具有卓越均匀性的图像,从而提高了曝光均匀性。该柱还包括一个隔振工具,以减少振动干扰。此外,NIKON NSR-2205EX12B还提供多种对准功能,例如宽视场成像和自动镜头对准资产。它还具有先进的成像能力,如可变曝光时间、可变曝光分辨率、可变曝光速度和可变曝光剂量。曝光光源可以从窄带HE或Xe准分子激光器中选择。总之,NSR-2205 EX12B是需要精确、高可重复性和可靠结果的先进芯片制造的绝佳选择。凭借其高端功能、曝光能力和先进的对齐系统,它非常适合大型生产应用。
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