二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9356972 待售

NIKON NSR 2205 EX12B
ID: 9356972
KrF Stepper.
NIKON NSR 2205 EX12B Wafer Stepper是一种用于半导体相关制造工艺的最先进的高端晶圆stepper。凭借先进的激光优化光学投影设备和精确对准能力,NIKON NSR-2205EX12B被设计为在光刻、光刻开发、关键生物和化学基板、光阻模式开发等关键半导体生产步骤中提供最高分辨率、精度和准确性。NSR-2205 EX12B是具有12英寸(305毫米)投影面积的直驱步进器。其数值孔径(NA)额定值为0.70,并且改进了光学设置,产生比传统系统更高分辨率的光刻图样。该表在光学上对齐,并提供精确控制的运动,从而实现更精确的对齐和一致的批处理精度。对镜头系统进行了微调,以获得最大的稳定性,该单元可配置用于双激光照明,以实现微调和小特征。NIKON NSR 2205EX 12 B能够产生最大线宽0.5微米的高分辨率图像。这是通过结合使用新的标线精度改进单元实现的,该单元提高了舞台精度并改进了扫描仪控制机器。这种扫描仪控制工具能够处理多个迭加,这有助于防止光掩码对准错误并提高迭加的可重复性。NSR-2205 EX 12 B还拥有一个完全统一的24位颜色输出面板,具有超稳定的4,000级灰色级别。这样可以比传统的晶片步进器更好地识别图样,并能够更快、更高效地绘制平版印刷图样。该单元还具有复杂、用户友好的菜单驱动图形用户界面(GUI),为操作员提供快速、方便地访问关键命令和设置,从而提高工作效率。综上所述,NIKON NSR-2205 EX12B是一种高端、精密的晶圆步进器,是任何半导体或微加工工艺的理想选择。其改进的光学性能、先进的激光优化投影资产和精确的对准能力确保了卓越的准确性、分辨率和可重复性。
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