二手 NIKON NSR 2205 EX14 #9243870 待售

NIKON NSR 2205 EX14是一种晶圆步进器，旨在满足半导体工业中光刻制造工艺的高精度定位要求。它能够以无与伦比的精度和速度在半导体晶片上产生光刻图样。NIKON NSR-2205 EX14是基于NIKON精细的光学投影结构，它使用了一个优秀的NIKON物镜和一个在5 μ m内运动范围平坦的舞台。快速变化的对准系统使得在4英寸和6英寸晶片之间快速切换成为可能，而前置开放式设计确保了在短时间内轻松加载和有效对准。NSR-2205 EX 14有一个自动模式识别程序，可以自动跟踪和纠正模式缺陷。此外，它使用先进的数字信号处理系统，以确保准确性，减少完成光刻工艺所需的时间。NIKON NSR 2205 EX 14配备高精度8轴级和快速对焦能力。这提供了高精度的图样与最佳的焦点在广泛的基材尺寸和技术。此外，一个独特的注入锁定和镜头系统提供低离轴锁定力准确和稳定的长期定位。此外，NSR-2205 EX14还配备了一个多级映射程序，可以快速识别晶圆模式失准并迅速纠正。这样可以更严格地控制临界阵列特征的过程,例如线边和线宽粗糙度。最后,NSR 2205 EX 14配备了一整套控制工具,可轻松集成到现有的制造系列中。它还能够容纳第三方软件,如APC和AutoPC,从而实现优化的模式控制和可编程过程自动化。