二手 NIKON NSR 2205 EX14C #293591967 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是用于集成电路生产的最先进的晶圆步进器。晶圆步进器以其先进的特性和自动化提供了高质量的光刻技术。它采用了独特的数字伺服电机设备，确保舞台的精确运动。数字伺服电动机系统包括两个线性运动轴和一个旋转轴，允许给定图样的精确对准。步进器使用激光对准单元以确保与打印区域中心精确对准。步进机还有一个4轴几何校正工具，它允许由于过程相关的电机和舞台方差而引起的图样失真的校正。此资产还允许一次打印多组模式,以及可以多次重复相同模式的步骤和重复记录方法。它带来了更大的产能和重复性。步进器还具有最小化波纹和噪声的低振动模型。NIKON NSR-2205 EX 14 C的激光对准设备包括两个激光头和两个光束，能够快速设置和提高吞吐量。在整个运行过程中,即使晶圆尺寸发生变化,放置精度也可以保持不变。再者，步进器装有使用数位影像光源的高NA（数值孔径）照明系统，可同时用于斜向和反向成像。NSR-2205 EX14C是一个可靠、高精度的步进单元，满足当今半导体制造工艺的高需求。它利用NIKON先进的光学处理技术和细致的外壳设计，允许在这些过程中需要精确的光刻。步进器专为大批量生产而设计,利用自动化控制和最小维护来实现最大吞吐量和最小停机时间。