二手 NIKON NSR 2205 EX14C #293603626 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是一种先进的紫外线（UV）晶圆步进光刻设备，设计用于生产用于各种半导体制造工艺的集成电路（IC）。该系统结合了先进的光学和精确的运动控制技术，将图像精确投影到晶片上。设备的分辨率和准确性保证了晶片上印刷特征的精确对齐。NIKON NSR-2205EX14C是一种多功能的高端晶圆步进机,非常适合广泛的应用。NSR-2205 EX14C Wafer Stepper配备了一个工具组件,即NSR-S307E系列还原投影光学元件,其中包括一个经过光学校正的4倍还原光学资产。这提供了从特写到无穷远的出色图像质量，图像长宽比为1：1。光学模型包含一对旋转对称透镜，一个用于对象，一个用于图像。透镜是光学校正的非球面，减少像差，提供高质量的图像。它利用NIKON电子外壳系统（NEHS）提供了步进设备布局和控制的独特方法。NEHS为半导体晶片的曝光提供了刚性框架，减少了晶片的经度，使晶片表面能够精确的真空通风和维护。该系统还采用了最新的NIKON图像监视器单元（IMS），无论透镜和机器元件位移、温度和气体成分如何，它都能在晶圆表面上保持精确对齐的图像。NSR 2205 EX 14 C采用高精度刀具控制器,可确保高定位精度。这一双中央处理器资产能够每秒处理多达1,000个电光命令,提供极高的响应速度和准确性。步进器还配备了NIKON Scaling Drive Model （SDS），它允许设备的成像精度与各种光刻工艺的设计规格相匹配，包括超细线宽应用。NIKON NSR 2205 EX 14C具有加工直径可达200毫米的基板的能力。它采用氮冷真空冷块和加热LED曝光源设计，工作波长范围为365nm至435nm。它的DLT（Dual Lithography Table）有两个表，能够以每小时30个晶圆的速率进行晶圆交换扫描。总之，NIKON NSR-2205 EX 14 C是先进的紫外线晶片步进系统，具有最先进的光学单元、最新的控制系统和高精度的处理能力。它是需要超细线宽的光刻应用的绝佳选择，提供卓越的图像质量和准确性。