二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9085237 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是NIKON最先进的晶圆步进器,非常适合各种半导体工艺。EX14C模型提供了高分辨率、准确性和高吞吐量性能的独特组合。步进器的分辨率为0.1微米，能够支撑最先进的光刻和检测过程。高分辨率还可以确保特征大小的元件能够准确定位和稳定的空间关系。步进器装有一个6英寸的晶圆室，能够支撑直径达200毫米的晶圆。机器的最高工作温度为80℃，确保小、易碎、复杂的零件能够高精度生产，不会损坏。晶圆步进器有八级多轴设备，并利用四个直线电动机来保证运动的精度和精确度。系统在X和Y轴上以1 μ m的增量移动步进器,从而可以精确地操作要步进的晶片。该EX14C还配备了带5元镜头的分段CCD相机，可实现步进模式的高精度采集和成像。NIKON NSR-2205EX14C还配备了支持整个光刻工艺的强大软件套件。此软件使用户能够快速准确地设置光刻作业,并使他们能够从远程控制面板监视和控制步进器。软件还包括用于数据日志记录的集成数据采集模块和用于配置阵列作业的单元内作业编辑器。此外,NSR-2205 EX14C晶片步进器能够与几种不同的系统集成,包括自动晶片处理功能。该机器可以使用多种行业标准的机械臂，使晶片的装卸过程容易得多。此功能对于高容量、高精度的制造过程特别有用。总体而言,NSR 2205 EX 14C是一款功能强大且精密的晶圆步进器,非常适合半导体行业中的精密光刻工艺。步进器小巧、紧凑的设计、高分辨率和集成的工具使用户能够以高精度和精确度创建错综复杂的部件,同时仍能保持高吞吐量。