二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9157720 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是用于加工晶片的晶片步进器。此设备为生产环境提供了高级光刻功能,有助于最大限度地提高吞吐量,同时将生产成本降至最低。NIKON NSR-2205EX14C使用工作距离短的G线光学系统，以实现多功能性和高分辨率成像。这种步进器还具有5步剂量控制，允许最大覆盖精度和速度。NSR-2205 EX14C可以容纳尺寸从4英寸到8英寸晶圆的大型基材，具有4英寸的最小特征尺寸。它配备了0.10 μ m的超高分辨率,提供了出色的场边均匀性和出色的不同图桉的迭加对齐。对于局部阵列,此晶片步进器带有多场阵列功能,允许对具有不同参数的多个字段进行阵列化。在其硬件方面，NIKON NSR 2205EX 14C带有静电卡盘和改进的抗振级，用于处理重型基板。对焦记忆体储存镜头位置快速，以实现高速操作，而抗振级则允许高速模式化。为了进行额外的控制,此装置还具有防反射涂层和内置的空气轴承主轴,以实现更精确的定位。在生产效率方面,NIKON NSR 2205 EX 14C是为高效运行而设计的,4英寸晶圆的循环时间低至1.3分钟。该装置带有内置谐波补偿模式，以减少晶圆纺丝机构引起的振动效应。此外,晶片步进器为用户提供了自动化的维护和监控功能,使您可以更好地控制生产过程。总体而言,NSR 2205EX 14C是生产环境中理想的晶圆加工工具。其先进的光刻特性和超高分辨率成像可实现最高的精度和准确性。这种晶圆步进器以其长工作距离的G线光学系统、多场模式的特点和高效的操作，有助于最大限度地提高吞吐量和降低成本。