二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9192103 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是一种5英寸步进投影对齐器，可用于多种微加工应用。它被设计成在半导体、光掩模和微器件晶片上精确、重复的图样特征。NIKON NSR-2205EX14C有5英寸的投影面积，最多可处理6英寸晶圆。它可以以各种放大倍率运行，并提供高达0.25微米的分辨率。该机器能够覆盖多达四个不同的成像通道，以提高吞吐量和灵活性。它还具有开槽的灵活性，从而能够适应晶片中的处理不规则性。NSR-2205 EX14C具有光束遮挡设备,有助于确保精确对准。它还具有抗反射涂层，以减少失真。该系统采用高分辨率、长波长激光干涉测量装置（LIS）测量基板位置，精度为0.1微米。该机包括一个由压电执行器驱动的舞台，提供了高精度和重复性。它还包括一个Rastek-G气态伺服工具，能够在不抖动的情况下对舞台进行精细定位调整。NSR 2205 EX14C利用直线电动机进行快速加速度和减速,以及高度精确的位置检测。每小时最多可处理10,000个晶圆，吞吐量为150毫米/秒。该资产包括我们专有的NIKON智能角膜对准（SCA）模型,它可以大大减少设置时间。除了制图晶片外，NIKON NSR 2205 EX 14C还可用于各种高精度的微加工应用，如老化、沉积和蚀刻工艺。它还具有多种晶圆易扫描（WES）模式，能够实现自动非接触晶圆检测和自动缺陷监测及分类。总而言之，NIKON NSR-2205 EX14C是一种非常精确可靠的步进投影对齐器，适用于各种微加工应用。它用途广泛,功能强大,旨在满足最苛刻的生产环境。