二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9209755 待售

NIKON NSR 2205 EX14C
ID: 9209755
Steppers.
NIKON NSR 2205 EX14C晶片步进器是一种高度先进、功能强大的光刻设备工具,为光刻工艺提供持续的操作和生产力。NIKON NSR-2205EX14C晶片步进器用于测量和曝光分辨率高达0.280微米的晶片。它使用精密光学设备,范围从入射光学位置到24mm,对于方形晶片也可以达到14mm曝光。步进器配备了略微弯曲晶片的x2e Rotation曝光系统,以及测量晶片深度的Eureki曝光对准自动对焦单元。该机器采用超刚性多室设计,具有机械、光学和电气子组件,性能和可靠性。其控制机以具有6轴对准和11轴对准控制传感器的鲁棒配重工具为基础,用于晶圆的精确定位。NSR-2205 EX14C还配备了准直器资产,包括轴向扫描和横向扫描,以实现精确的成像能力和完整的曝光模型。此外,步进器还设计了高速处理设备和较大的内存容量,以实现高分辨率的阵列。NSR-2205EX14C还有一个内置的热控制系统,带有加热器模块和冷却器模块,用于高效冷却和均匀的温度分布。步进器还建有排放控制单元,以确保清洁、无污染的环境。此外,步进器还设计了一种自动保护涂层机,能够保护晶片在暴露过程中免受损坏。NSR 2205EX 14 C晶片步进器是一种高效可靠的步进器,可满足任何需要高精度成像的光刻技术。这台机器支持高达0.280微米的分辨率、用于弯曲晶片的x2e旋转曝光工具、Eureki曝光对准自动对焦资产、多腔室结构和高速处理模型,能够从最新成像技术中获得最大性能。这台机器提供了大量的用户便利、鲁棒性和灵活性。
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