二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9247817 待售

NIKON NSR 2205 EX14C
ID: 9247817
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Stepper, 8" 1999 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C晶圆步进器是为半导体工业的精确操作而设计的最先进的微型制造机。这种步进器被认为是最顶端的晶圆步进器,并以先进的精度和速度控制设计。NIKON NSR-2205EX14C晶片步进器具有分割场光学设备,通过五轴对准和自动对准促进精密光束定位的准确性和多功能性。它的最大曝光面积为115mm x 115mm,非常适合更大尺寸的模具应用。其5倍减小光学系统为详细图表提供了收缩能力。其消色差对准单元保证了晶片上非常小的图样的高精度,同时保持了较低的像差。在速度方面,NSR-2205 EX14C具有高达每小时140晶圆的高曝光率。其先进的机动化阶段使晶片能够快速扫描,其高速范围切换提供了曝光和扫描操作之间的快速切换。其自动对准特性,加上其高度精确的温度控制机,每次曝光都能提供高精度的结果。NSR 2205 EX14C配备了两个激光对准系统,允许用户以1nm的亚微米精度微调晶片对准。此外,该工具还集成了半自动化聚焦资产,以减少焦点错位并优化投影质量。NIKON NSR 2205EX 14 C晶圆步进器是一种顶级型号,旨在满足半导体行业的苛刻需求。它配备了先进的精度和速度控制,在曝光和扫描操作中赋予超高分辨率。其先进的对准系统提供了卓越的准确性和可靠性,其半自动对焦设备优化了投影质量。它的5倍还原光学系统为详细的图表提供了收缩能力,其消色差对准单元确保了晶圆上非常小的图样的高精度。总体而言,NIKON NSR-2205 EX 14 C是需要最高性能的操作的理想晶圆步进器。
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