二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9251796 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是一种晶圆步进器，设计用于正确对齐微电子电路，同时减小半导体器件尺寸。它是一种先进的浸入式光刻设备，可以为光掩模产生极其精确的图桉。该系统配备了最新的浸入式光学技术，减少了常规折射投影光学单元引入的像差。它还具有高度精确的晶片级和高端、高精度的压电相机，以提高对准精度。NIKON NSR-2205 EX 14C的最先进的光学器件提供高晶圆通量，并具有1.35的数值孔径（NA）。光学器件有助于确保整个视场的高度均匀性。它可以在x方向上达到10 x 10 mm,在y方向上达到6.2 um。该工具被设计成在x和y方向上具有0.6 um级重复性的高达180 mm直径的晶片的阵列。它还具有3-15 mm的图像聚焦范围,适用于使用步进器或扫描仪操作的不同曝光条件。此外,NSR-2205 EX14C还附带一个基于Windows XP的下一代用户界面,用于控制曝光和其他参数。此用户界面全面概述了系统暴露情况,使快速调整设置和确保准确的结果变得容易。界面还包括自动对焦、自动标线对齐、图像校正等软件工具。NSR 2205 EX 14C还具有内置晶圆标记读卡器。这有助于确保正确识别刻在晶片上的部件编号,并将其安全地存储在资产日志中。此外,它还配备了先进的冷却装置,可降低内部零件温度,提高模型稳定性和耐用性。总体而言,NIKON NSR 2205 EX 14C是一种先进的光刻设备,旨在为先进的半导体器件制造提供精确的对准和模式精度。它具有创新的成像技术、高精度的成像系统、用户友好的基于Windows的界面以及内置的晶圆标记阅读器。它是为逻辑门光刻和高密度互连布线等应用而设计的。