二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9273096 待售
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ID: 9273096
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Stepper, 8"
Reticle: 6"
Reticle library: 10
Field size: 22 mm
NA Variable
Reduction ratio: 1/5
Pre alignment
CCD Camera
Particle detector type: PPD3
Wafer loader: Type 3
Multipoint AF (49 Channels)
Inline: Right (ACT 8)
EXCIMER ELS 5410 Laser
Illumination: 1 kW
FIA
No LIA
No periphery exposing
Base kit: BASEEX502-0011C
Highland type: Standard
Chamber temperature: 23°C
1999 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C是一种扫描步进器，一种用于制造半导体器件的机器。这款多合一设备配备了多种特性，使其适合晶圆曝光。专业级步进器提供高分辨率成像和低失真成像，分辨率高达6微米。它采用最新的制造工艺,旨在实现高端工艺兼容性。此外,系统先进的电机技术允许低振动和快速成像的长时间曝光。NIKON NSR-2205EX14C有两种曝光模式：单脉冲曝光（SPE）和广播扫描单元（BBS）。这两种模式对于高精度生产平板显示器和半导体器件都很有用。SPE模式提供了低至0.3微米的高分辨率，没有焦深限制，而BBS模式则使得大批量生产晶片的曝光时间缩短。步进器还支持配方管理和编程,从而改进过程控制。该软件提供各种工具,如作业跟踪、重迭曝光扫描、自动曝光焦点扫描和图像匹配。该机器为操作和维护提供了一个用户友好的环境。它包括一个直观的图形用户界面，它将编程时间最小化，并允许在晶圆曝光期间验证步骤。此外，该工具还包括一系列智能安全功能，包括大型安全防护和电动晶片批处理程序。总体而言,NSR-2205 EX14C是一种经济但高性能的晶片步进器,旨在为各种应用提供高级成像和生产。凭借其先进的功能和直观的用户界面，该资产非常适合大规模芯片生产。
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