二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9301516 待售
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ID: 9301516
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Stepper, 8"
Resolution: 0.25um
Wafer loader type: Type3, NC Pre2
Reticle, 6"
Max expose field size: 22 mm x 22 mm
Reticle library: (10) Slots
CYMER 5400 Laser system
PPD
Bar code reader
Alignment system: LSA, FIA
Inline: Left
Chamber type: Sendai S32
2000 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C Wafer Stepper是一种用途广泛的光刻设备,设计用于在各种基板上精确绘制厚薄的光敏抗蚀剂层。NIKON NSR-2205EX14C配备了包括高频扫描路径、高分辨率投影光学、数字成像功能和综合软件包在内的最先进的功能。NSR-2205 EX14C的数字成像系统允许获取图桉化抗蚀剂的非常详细的图像。这是使用先进的激光曝光和激光照明技术来实现的，以确保整个阵列场的均匀曝光。该单元还包括一个复杂的掩蔽特征,它允许按照设计规则精确放置结构和其他特征。NSR-2205EX14C的高频扫描路径用于高速处理宽幅区域的光敏电阻。这是通过使用几种变速电动机、舞台控制类型伺服和旋转编码器的组合来实现的，这些编码器允许在曝光期间精确定位舞台。此外，高频扫描路径确保抗蚀剂在其整个长度上均匀暴露，且失真最小。NIKON NSR-2205 EX 14 C还配备了一个极高分辨率的投影光学机器，可以对被阵列的结构进行精确成像。光学器件具有较高的数值孔径和较低的失真,因此能够精确地对极精细的细节进行阵列设计。光学器件还提供了较大的景深，使步进器可以在没有失真的情况下对较小特征的重迭层进行阵列化。最后,NSR 2205EX 14C提供了一个综合软件包,用于管理光刻工具的整体操作。该软件设计方便用户和直观，为用户提供各种可定制的选项，从作业调度和数据管理到光子剂量监测和重要参数记录。总体而言,NSR 2205 EX14C Wafer Stepper是一种用途广泛、可靠且精确的光刻资产,可以在大面积上以非凡的精度绘制各种抗蚀剂的图样。这使得它成为广泛光刻应用的理想选择。
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