二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9364212 待售

ID: 9364212
KrF Stepper Chamber Control rack BMU Cymer Missing parts.
NIKON NSR 2205 EX14C是最先进的晶圆步进器。它是一种利用步进和扫描技术相结合的光刻设备,生产半导体器件,如微处理器,其特性尺寸极小。该系统能够以亚微米精度打印窄至0.17微米的线条。NIKON NSR-2205EX14C具有先进的光学透镜单元,可以实现被成像图样的高放大倍率。它利用激光干涉仪来补偿机器中的任何振动,从而在成像过程中达到最大精度。该工具包括一个自动对齐资产,使其能够以高精度将图样图像对齐到晶圆上。这样可以确保批次的可重复性。它还具有一个正面对准模型,它使用一个照明十字准线来精确定位薄膜层在晶圆上。NSR-2205 EX14C还使用化学和机械稳定系统,以便在长时间的晶圆运行过程中保持较高的图像质量和吞吐量。这包括防止图像失真的化学剥离设备和维持系统温度的热交换器。设备的操作由图形用户界面(GUI)控制,该界面旨在轻松解释设备参数。GUI具有直观的设计,允许简单高效的操作,确保用户可以轻松开始生产并获得高质量的图像。GUI还附带了一个横截面图像数据库,以帮助分析晶圆过程。综上所述,NIKON NSR-2205 EX14C是一个最先进的晶圆步进器,专注于提供高质量的图像,并在批次中提供可重复的结果。它利用先进的光学系统、自动对准系统以及化学和机械稳定系统来帮助确保最高质量的结果。最后,使用直观的GUI控制机器,使其易于理解和操作。
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