二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9375190 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9375190
Stepper
CYMER ELS 5400 Laser
Missing parts:
Wafer loader unit:
Wafer loader: Type III
A-406 WLSP Waiting table plate
P/N: 4S015-151
Reticle loader unit
A-100 PW-NA, P/N: 4S001-062
A-105 PPD-DRV, P/N: 4S007-608
A-800 PW-NA OPD Unit
Stage unit:
Wafer holder
CT Pin
Power AMP Unit
P/N:
A-20P PW-NB, P/N: 4S001-063
A-216 ZTFP, P/N: 4S069-668
A-217 ZTDRV8, P/N: 4S018-137
A-220 EPFP, P/N: 4S069-668
A-224 ADDRV1, P/N: 4S018-317
ADE(Z) Power AMP unit
Alignment Unit
NC-PRE2 Unit
Cable
A-510 NK386SX4, P/N: 4S015-150
Lens control unit
Mouse
Inverter
CATC Filter guide
CATC Filter.
NIKON NSR 2205 EX14C是一种高精度、高容量的晶圆步进器。步进器结合了先进的自动化和增强的低功耗功能,并采用了新的阶段设计,以实现卓越的工作效率。它具有可接受的晶圆尺寸范围,在中心孔和柄标准配置中为8英寸至12英寸直径。它的独特之处在于高级自动化设备（HLAS）,它具有改进的侧翻级、集成的热板和集成的光学元件。这确保了高容量、高精度应用的最佳精度。步进器具有高度稳定的岩石固体扫描场。它具有快速、高分辨率的电机驱动，与机器人对准系统（RAS）采用高速信息交换，提高了运行稳定性。它还配备了最大波纹校正单元（Maximum Ripple Correction Unit，MRCS），使连续晶圆运动能够在保持对齐的同时修正晶圆变形。这有助于高度精确的层对层迭加,而无需频繁调整焦点。步进器有改进的运动控制机（MCS）和内置的对准工具（ALS）用于精确定位，以及0.25微米的最大非3维对准精度。它还具有改进的结果,暴露时间长,从而使聚焦深度更大。因此，NIKON在几天内实现了业界最高的索引精度和稳定运行。步进器还具有高密度照明资产（HIS）和高功率照明禁用曲线（IC），用于改善照明均匀性和降低粒子水平。它还具有NIKON Exclusive Autoagitation&Etching （FX），设计用于腐蚀性流体的高效自动搅拌。这有助于模型提高产量并降低运营成本,而无需额外的人工干预。NIKON NSR-2205EX14C晶片步进器还有一个先进的工艺控制设备，用于监测晶片的状况，以确保最佳的制造产量和长期可重复性。该系统配备了参数和统计过程控制方法，以提供高度可靠的结果。最后，它还具有一个冷却机制，以确保均匀的热分布和保护机器的长期连续运行。
还没有评论