二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9379629 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是一种最先进的晶圆步进器,旨在实现晶圆的精确和均匀曝光。它具有14英寸、5微米分辨率、一流的浸入式光学器件和获得专利的浸入式透镜,能够在超精细图桉方面实现极高的控制和精确度。NIKON NSR-2205EX14C专为洁净室使用而设计,经过优化,可处理300 mm晶圆尺寸。它能够实现高吞吐量和最大的工艺稳定性和晶片到晶片的变化。它具有5nm的对准精度和0.1nm的可重复性,并提供10nm结构的一次曝光。NSR-2205 EX14C由NIKON专用的多光束光学设备提供动力,该设备可通过单次扫描实现二维曝光。该系统还可实现低像差成像和透明区域的高透射率。展位采用创新的6度自由度单臂机构，实现单臂滤波扫描机构，提供更高的图像稳定性和准确性。晶圆步进器还具有模块化I/O板,支持多过程图像捕获和并行图像处理。该设备提高了吞吐量,并在生产中引入了批对批一致性。步进器采用先进的高分辨率CCD相机,曝光时间有限,可以在不影响质量的情况下加快处理时间。NSR 2205 EX14C还包括配方样式配置的配方控制操作,并支持多个配方的内存管理。它还包括检测和消除有缺陷的暴露条件和暴露参数的检测机。晶圆步进器支持使用可选的阶段扫描仪，它可以在一次操作中对复杂的结构进行完全曝光。最后，各种附件和软件可以充分利用晶圆步进器。NSR 2205 EX 14C是一种强大的工具,能够实现精确和统一的处理。它是晶圆和其他基材上生产超细图桉和透明区域的理想选择。