二手 NIKON NSR 2205 EX14D #293817938 待售
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ID: 293817938
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.65
Resolution: 250-400 nm
DCO: 40
Throughput (WPH): 99.
NIKON NSR 2205 EX14D Wafer Stepper是一种先进的晶圆光刻设备,用于在微结构的表面上创建电路。该设备具有完全集成的计算机控制的四级晶片扫描仪级系统,为其高效运行和准确性奠定了基础。NIKON NSR-2205EX14D可以达到0.5 μ m的模式均匀性,最小线宽为0.6 μ m。对准精度高达0.8 μ m。NSR 2205 EX14D还包括一个极其明亮的NIKON曝光单元,它提供0.15 μ m的高功率紫外线光斑尺寸,以及精确的曝光,以达到超过1k音高的卓越最大图像分辨率。该机配备了四种多级制图和晶圆处理工艺,以及高水平的控制精度,包括控制温度、气体、端点、扫描速率和旋转角度的能力。NSR-2205EX14D拥有一个最先进的光刻软件,该软件由一个独特的SPC1软件包组成,使用户能够编程、分析和修改抗曝光和晶圆对齐过程的参数,并生成报告。此外,该软件可用于部署各种优化算法,以确保每个生产样品的质量控制。该工具还利用其16通道线路发生器进一步巩固结果。在安全性方面,NIKON NSR 2205 EX14D非常安全,经过精心设计,具有多种锁定机制。此外,资产还配有丙烯酸(PMMA)彩色过滤材料,有助于防止使用有害化学材料。总之,NIKON NSR-2205EX14D是一种高度精确、安全的晶圆步进器,主要适用于半导体工业中薄膜电子和微结构的生产。它拥有四级、高度精确的晶圆扫描模型、强大的紫外线激光和SPC1软件包,以确保其精密的功能达到最高效率。此外,它还通过其安全机制和滤色器提供了高度的保证。
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