二手 NIKON NSR 2205 G8 #152212 待售

NIKON NSR 2205 G8
ID: 152212
Stepper.
NIKON NSR 2205 G8是属于NIKON STEP Wafer Stepper系列的晶圆步进器。它被用于半导体制造的光刻阶段,允许电路图样从标线转移到硅或玻璃晶片上的光刻胶上。NSR 2205 G8具有较高的光学性能、精度和分辨率。NIKON NSR 2205 G8有一个光学设备,有五个光学元件,包括一个场透镜、步进透镜、投影仪透镜、影像扫描组件和一个标线。Field Lens会修正物件与影像侧面的差异所产生的像差。步进透镜用于跨多个位置传输标线的电路模式。投影仪镜头将标线图像投影到中等大小的大表面上。它还具有较大的放大倍率,可以提供高精确度。图像扫描组件以超高速扫描晶片,其精确度比快门传输快15倍左右。最后,在反向投影成像中使用Reticle,以确保精确对准.NSR 2205 G8还具有多项确保高精度和准确性的功能。其Ultra Precision Reticle Alignment采用了新开发的差分自动对准系统(DAAS),使其能够在对准可移动台阶前测量标线表面高度并进行校正,以最大限度地提高精度。它还具有Auto Autofocus Leveling,用于通过测量晶圆表面的位移和在曝光前进行任何必要的校正来调整焦点。这使得高分辨率成像具有更高的精确度。NIKON NSR 2205 G8还提供了高度优化的光源,有助于最大限度地减少照明均匀性的长期漂移,从而实现最具创新性的成像性能。它还有一个节能的冷却装置,能效最大化。本机使用热电冷却单元和热交换器,使温度快速上升,因此比传统冷却系统所需的能量更少。NSR 2205 G8还提供了用户友好的VARI-Exposure界面,有助于减少因温度、湿度和环境光波动等外部影响而产生的不均匀性。这样可以确保图像质量保持稳定,即使在极端环境中也是如此。此外,它还有一个强大的模式识别工具,可以同时识别多达二十四种不同的模式,并且支持各种标线。总体而言,NIKON NSR 2205 G8晶片步进器是一种可靠、精确的设备,设计用于处理各种晶片步进器应用程序,性能、精度和分辨率都很高。其先进的功能提供可靠、可重复的成像性能和高效、节能的操作。
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