二手 NIKON NSR 2205 i10C #9092314 待售
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ID: 9092314
Steppers, 8"
Standard resolution: 0.45um
Variable field size: 20mm x 20mm (15/17 .5/20mm)
Ultra high pressure mercury arc lamp
Ball screw wafer stage
Reticle library: 5"
Extended wafer carrier table
SHRINC 1
Computer hardware: Nikon NEST
Alignment system: LSA & FIA
Multipoint autofocus and leveling
Chip leveling
ASM measurement software
Self Measurement Program (SMP).
NIKON NSR 2205 i10C是一种先进、高精度的晶圆步进器,用于半导体半导体制造工艺。这种基于光学的自动晶片步进器能够在几秒钟内将生产芯片时使用的精细光刻图样精确传输到晶片上。它通过先进和先进的成像设备实现了这种精确度。NIKON NSR-2205I10C在设计中融入了视觉系统、二维扫描单元、大型、高精度舞台和高分辨率相机镜头等组件。这样可以确保最佳图像性能和一致的结果。它具有一个现场镜头,它与高分辨率成像相机和线性扫描机一起工作,以达到一个极好的图像质量。摄像机安装在机械臂上,使其能够在视野内自由、轻松地移动。视场透镜还确保了广角景深,从而确保了具有细节潜力和平坦景深的锐利图像。安装在机械臂上的高分辨率相机可快速连续拍摄高分辨率图像,从而实现快速晶圆处理和曝光。激光快速准确地重新聚焦,确保了完美聚焦的图像。二维扫描工具能够沿着x和y轴扫描,从而实现最大图像分辨率。NSR 2205 i10C还具有精密的光刻软件,旨在将图样从计算机精确传输到晶圆。该软件允许用户快速高效地修改光刻,确保图桉准确。此外,NSR-2205I10C还具有许多安全功能。晶圆处理设备配有保护罩,可确保晶圆不受污染。边缘屏障的设计使晶片远离潜在的伤害。视觉模型旨在持续监测等离子体环境并检测任何潜在问题。最后,还有一个倾斜警报,设计用来提醒操作员,如果晶圆在设备中开始倾斜。总体而言,NIKON NSR 2205 i10C是一款功能强大的设备,旨在提供超精确的晶圆处理功能。它具有复杂的成像系统、线性扫描单元和有助于确保准确性和一致性的复杂光刻软件。此外,它还配备了一些安全功能,有助于确保晶片在机器中不会受到污染。
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