二手 NIKON NSR 2205 i10C #9100801 待售
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ID: 9100801
晶圆大小: 8"
Steppers, 8"
Reticle, 6"
Applications specifications:
Resolution: 0.45 µm
Expose source: i-Line (365 nm)
Reduction: x 5
Expose field: 21.2 x 25.2 mm, 20 x 20 mm
Alignment accuracy: 0.09 µm (3 Sigma)
CD Uniformity: Max-min <= 0.04 um
Lens distortion: +/- 0.05 um
Hardware configuration:
Lens type: 5iB3S
Realignment orientation: 3:00
Wafer loader type: Type 1
Wafer type: Notched
Reticle microscope compatibility: 21.2 / 22.0 mm
Cable length: 5.0 Meters
Pellicle particle detector (Pellicle only)
Variable numerical aperture: 0.50-0.57
Selected NA: 0.50
Reticle bar code reader
Decnet
AMS
Online (OCS): NIKON SECSI / SECSII
Wafer holder: Ceramic low contact type 1
FIA
LIA
Total overlay: Up to 20 NSR's
Test reticle: R2205HA Ver.6.56 (6"-22.00 mm)
Chip leveling
Extended library
Extended wafer carrier table
Inline: Left (Nikon standard layout)
Not included:
Particle detector
Wafer edge exposure system
Multi reticle changer
SHRINC 1
Performance analysis process (PAP)
Self-measurement program (SMP)
Low particle black ceramic wafer loader fixtures
Pre alignment 2
Detector.
NIKON NSR 2205 i10C是一种高度先进和紧凑的晶圆步进器。这种晶片步进器设计用于光刻生产半导体微处理器的高效、精确的对准。它具有全封闭的光学设备、高扭矩驱动系统和快速的扫描速率，所有这些都使它在指定的任务中效率很高。NIKON NSR-2205I10C提供了二维对齐方式以实现精确对齐。这包括一个从掩码中捕获图像的图像传感器、一个高分辨率的低平面失真级（用于在最高扫描速度下进行平整和低不规则性）,以及一个确保平滑和精确段旋转的高输入精度。晶焦平面提供广阔的视野和优越的聚焦深度，以配合光刻环境，在扫描过程中保护晶片的脆弱图样。NSR 2205 i10C使用高扭矩驱动单元将晶片与高速和精度对齐。这是由无刷直接耦合电动机（BDM）和Slitless Stepper Motors（SSM）两种电动机的组合提供的。BDM提供高位置分辨率和低振动的平滑运动，而SSM则提供高速和不间断的位置控制。通过这两个电动机的组合，NSR-2205I10C确保晶片的精确对准，即使在高扫描速率。NIKON NSR 2205 i10C还配备了一个微型和飞点激光对准机。这通过允许晶片位置的精细调整来提高对准精度。此工具能够快速检测和纠正任何错误的对齐方式,从而确保成功的平版印刷过程。NIKON NSR-2205I10C的设计目的是提供一种安全和经济高效的方法，在光刻生产中对准和定位晶片。该资产旨在实现高达0.3 µm的对准精度,并且由于其高效的设计和精确的对准能力,它能够支持在复杂的生产环境中提高吞吐量。
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