二手 NIKON NSR 2205 i10C #9249692 待售

NIKON NSR 2205 i10C Wafer Stepper是一种用于半导体制造业的最先进的光刻工具。它具有各种特点，使制造商能够生产出现代和先进微型电子产品的复杂特性。NIKON NSR-2205I10C是一种基于步进器的光刻设备，使用紫外线（UV）激光器和投影图像在硅片上曝光光刻胶。利用固定磁场、多扫描或可编程扫描技术对晶片进行曝光，在两种光刻模式下工作非常精确。它还包含先进的校准功能,可提供快速可靠的曝光操作。NSR 2205 i10C具有12英寸至200毫米石英晶片级,可处理多种基板,并具有1000 Hz的阶段更新频率,以增强性能。高速操作确保了快速准确的曝光，而双源激光系统采用395 nm和405 nm紫外线激光器，波长可达6mJ/cm ²。这样可以确保较小的分辨率和广泛的曝光动态范围。它还有一个高性能抛光器，每个曝光会话的还原比高达24层。NSR-2205I10C还配备了数据不变区域补偿器，减少了手动匹配时间，有助于实现可重复和一致的性能。该装置提供了逐场聚焦校正，保证了整个加工晶片的绝佳的曝光均匀性和抗蚀剂厚度精度。高效的冷却机使晶片能够快速冷却，并防止温度波动可能对抗蚀剂造成损害。此外,NIKON NSR 2205 i10C还具有多种优化功能,如直观的机器控制选项、自动校准、步进和重复校准、曝光模式控制以及性能监控。所有这些组合为半导体器件的设计和制造创造了一个集成灵活的解决方桉。NIKON NSR-2205I10C Wafer Stepper是一种高度先进且用途广泛的光刻工具,非常适合那些希望生产尖端微型电子产品的制造商。资产的高级功能确保了精确准确的曝光、高效的进纸和高性能的光刻操作,为制造商提供了最终的光刻解决方桉。