二手 NIKON NSR 2205 i11C #293616666 待售
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ID: 293616666
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
Stepper, 6"
Type II wafer loader
Left and right carriers loading
High and low pressure: 8 kgf/cm²
Reticle loader:
Mask size, 6"
Reticle library: 33 mm
Reticle stage:
RA Microscope (Moveable)
Position: 20 mm
FIA
LSA
Monitor
Interferometer type: 5517 B
1995 vintage.
NIKON NSR 2205 i11C是为生产光刻面罩和平板显示器而设计的线片步进器顶部。该型号专为350mm尺寸范围内的晶片制造而设计，使其成为生产高精度器件的理想机器。NIKON NSR-2205I11C能够进行面膜制作，以及在晶圆生产过程中暴露和发展步骤。这种晶片步进器的特点是为高分辨率成像而设计的衍射受限投影透镜。这款投影镜头是由高NA镜头、高性能软件平台和CCD相机组合而成。结合这三个元件，晶圆步进器能够保持亚微米级精度。在机器标线级方面，NSR 2205 I 11 C被认为是同类较先进的型号之一。能够倾斜、旋转和缩放，标线级高度可调，以适应各种产品需求。此外，机器内置了几种成像模式，允许用户选择最适合自己产品的模式。这些模式包括直扫描模式、圆扫描模式、晶圆扫描模式和静电车床模式。在生产力方面，NIKON NSR 2205 I 11 C被认为是同级中最顶级的机型之一。使用高速扫描速度,步进器能够以比任何其他型号更高的速度完成任务的每个阶段。此外,步进器还加载了自动化进程,使其无需用户干预即可完成任务。NSR-2205I11C需要相当大的投资，但很值得。这种顶级晶片步进器是个人和企业希望能够精确、轻松地制造晶片的理想机器。
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