二手 NIKON NSR 2205 i11C #9224341 待售

NIKON NSR 2205 i11C是一种晶圆步进机，使用ArF（Argon Fluoride）激光光刻成像工艺。这台机器是为半导体器件制造而设计的，特别是为了生产现代复杂的设计。它在当前所有光刻设计中提供卓越的成像效果。NIKON NSR-2205I11C是围绕其两个ArF激光光源建造的。这种激光由于其193nm的波长提供了极好的分辨率和避免交叉污染。激光指向标线，标线是一块薄薄的透明板，上面有不透明的图桉。标线板上的图样定义了晶圆上所需的图样。标线固定在一个校准台上，在一个双透镜冷凝器下面，然后将激光聚焦到晶片上。NSR 2205 I 11 C上的晶片级设计用于晶片本身的精确移动和定位。其定位精度在1 ± m以内μ最大晶圆尺寸为200 mm。晶圆级装有蔡司primoStar HD自动对准系统，用于精确调整测量。这允许晶片在舞台上的精确配准，这使得模式从标线到晶片的精确对准。NIKON NSR 2205 I 11 C还具有广泛的对齐标记，包括相移标记、瞳孔变异、环纹和对齐标记。这些特性允许在投影光刻过程中将光罩精确对准晶片。此外,NSR 2205 i11C的自动聚焦能力确保了晶圆上打印的照片掩模的图样能够准确一致地产生。此外,NSR-2205I11C还具有易于使用的图形用户界面（GUI）。它还有一个预定义的对齐和曝光配方库，可以存储和检索。此外，该晶片步进器还具有一系列智能传感器，可用于准确监测工艺和环境条件。NIKON NSR 2205 i11C由于具有精确的成像和对准能力，是一种高效可靠的半导体器件制造工具。它的两个ArF激光光源提供出色的分辨率，而其蔡司primoStar HD自动对准确保精确的晶圆定位和对准。智能传感器和GUI增强了用户控制，预定义的配方为快速高效的实施做出了贡献，帮助生产复杂的设计。