二手 NIKON NSR 2205 i11D #293587312 待售

NIKON NSR 2205 i11D是为半导体器件量产而设计的全场i线步进器。它利用NIKON原始I线光学器件、全场对准设备、精密级、多区自动温度控制系统等高尖端技术和自动校准技术，实现了卓越的迭加精度。NIKON NSR-2205I11D步进器可提供低至5nm （45nm间距的）分辨率,并具有列内扫描技术以实现快速步进和重复时间。由于其先进的硬件和软件,此步进器还提供了低拥有成本的高可用性。在光学上,NSR 2205I11D利用无色像差光学单元,利用全场对准机自动调整投影角和透镜倾斜角,以确保图像的最佳对准。光学工具还包括确保高精度聚焦的激光干涉仪。步进器还配备了测距激光选项，使其能够在开始成像前精确对准镜头。步进器的多区自动温度控制资产优化了舞台温度，在亚微米级实现了卓越的成像稳定性，成为超精密成像和光刻的绝佳选择。此外,多区域晶片卡盘可提供稳定的晶片水平,并在每个成像步骤之前检查晶片,从而实现可重复和一致的图像。NSR 2205 i11D还配备了高级软件，允许自动化和优化的设置处理。步进器配备了一系列校准功能，包括自动散焦以确保最佳图像质量，以及全自动对焦调整算法和自动校准技术以实现最高的过程重复性和迭加精度。总体而言,NIKON NSR-2205 I11 D是量产半导体器件制造的绝佳选择,它采用先进的I线光学、全场对准、测距激光、自动温度控制和精密软件算法,以确保高精度、重复性和低拥有成本。