二手 NIKON NSR 2205 i11D #293606711 待售

ID: 293606711
Stepper Resolution: 0.35 NA: 0.63 Exposure wave length: i-Line Reduction: 1/5 Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2.
NIKON NSR 2205 i11D是为半导体器件制造和其他晶圆制造而设计的高性能步进器。步进器的设计目的是通过从0.2到45.0 μ m的极宽的曝光变化范围提供精确和可重复的微加工结果。步进器还具有极低的对准位置精度0.05 μ m,是高精度加工和先进技术开发应用的理想选择。NIKON NSR-2205I11D具有专有的图像定心设备,可确保在各种曝光场和基板尺寸上的精确对准和定位精度。该定心系统还补偿基板的扭曲、运动诱导的位置误差和标线刷新散焦,以提供高度准确和可重复的性能。步进器还配备了智能测量单元,在单次曝光时提供详细的晶圆观测、评估和反馈。简单直观的用户界面使NSR 2205I11D易于使用和管理。用户友好的控制部分允许快速、直观地访问所有步进参数,以及针对各种处理条件进行详细的校准和维护。直观的图形用户界面(GUI)支持用于简单设置和控制的自动化配方,并具有可视化处理审查和可追踪性。NIKON NSR-2205 I 11 D的另一个核心特点是其先进的光学机器,提供了具有卓越对比度和清晰图像的干净成像领域。通过使用相移技术,步进器能够在较大的曝光场上产生极低缺陷密度和高对比度的光掩模。此外,它的高速、低功耗扫描能力可确保每小时可处理多达4.5个晶圆。步进器内置的温度补偿和宽阔的工作区域进一步增强了这一能力。总体而言,NSR 2205 I 11 D是一种功能强大、可靠且用途广泛的步进器,旨在在半导体器件制造和其他晶圆工艺中提供精确、高质量的结果。它非常可靠,对准位置精度特别低,为0.05 μ m,每小时可处理多达4.5个晶圆。NSR-2205 I11 D具有简单易用的用户界面和先进的光学工具,是高精度和先进技术开发应用的绝佳选择。
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