二手 NIKON NSR 2205 i11D #293607244 待售
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ID: 293607244
Stepper
Lamp illumination:
Average power: 560.407 mW/cm²
Uniformity: 1.026%
X-Y Axis:
Maximum: 0.039, 0.028
Minimum: -0.039, -0.053
Lens distortion within ±0.050 µm
Field inclination:
Max-min within 0.230 µm
Curvature within -0.029 µm
UL-LR, UR-LL within 0.012, 0.092 µm
Stepping accuracy:
Stepping: 3δ≤45 nm - X:18, Y:42
Backlash: 3δ≤45 nm - X:28, Y:42
LSA-EGA
3δ+|X|≤70 nm
Mean-X/3δ: 23
Mean-Y/3δ: 12
3δ+|X|: 14
3δ+|Y|: 32
FIA-EGA
3δ+|X|≤70 nm
Mean-X/3δ: 8
Mean-Y/3δ: 26
3δ+|X|: 21
3δ+|Y|: 20.
NIKON NSR 2205 i11D是NIKON製造的顶级晶圆步进器。它是一个全自动的精密对准机器,允许精确控制晶圆的暴露。晶片步进器配备了优化的光学设备和运动控制系统,使其成为精细和高精度曝光处理的高效工具。精确的光学单元旨在减少暴露参数的偏差,并确保均匀暴露的表面能够优化吞吐量和产量。该设备的工作原理是将掩码投射到晶片上,并使用精确的曝光设置在晶片表面上创建阵列。然后使用步进电机将投影模式应用于晶片,该步进电机移动投影区域。NIKON NSR-2205I11D包括高精度伺服电动机和提供精确位置反馈的编码器。这种组合允许精确的曝光设置和优化的精度水平。晶片步进器最大可处理8英寸晶片,在1ð的曝光角度上最大模式精度为1.9um。NSR 2205I11D设计寿命长、设计可靠、维护时间短,因此能够降低停机时间和维护成本。它还具有自动预对齐器,可确保精确对齐,即使步进器未进行校准。该设备配备了一个用户友好的界面以及全方位的输入和输出选项,能够方便的控制和监控。该机器还可以通过以太网连接到其他NIKON机器。NSR 2205 I11 D是一种综合性晶片步进器,可提供精确、可靠的曝光处理和提高吞吐量。其优化的光学机器和运动控制工具可实现最佳的模式精度和可靠性,而其高精度的电机和编码器则可实现精确的对准。NSR 2205 i11D专为长期可靠性和低维护成本而设计,是要求苛刻的曝光过程应用程序的理想步进器。
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