二手 NIKON NSR 2205 i11D #293609472 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 293609472
Stepper
Resolution: 0.4 µm
DOF: 0.6 µm
Total focus deviation: ≤0.4 µm
Lens inclination: ≤0.2 µm
Lens distortion: Within ±50 nm
Focus control accuracy: Within ±0.15 µm
Illumination uniformity: Within ±2.5%
Power: 700 mW/Cm²
Reticle blind setting accuracy: Within +0.40 mm to +0.80 mm
Reticle rotation: |x|+3s≤20 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 s
Stepping precision: Within 0.040 µm (3σ)
Alignment accuracy (LSA, FIA): |Mean|+3s <0.085 µm
Wafer pre-alignment repeatability: Within ±1.5 s
Wafer flatness: <0.8 µm.
NIKON NSR 2205 i11D晶片步进器是一种高度先进的自动步进设备,用于先进的光刻工艺,以及半导体晶片的高质量成像。该系统利用超高分辨率数码相机获取半导体元件的最高质量图像,然后使用精密步进电动机将光掩模和晶圆基板精确放置在所需位置。然后,NIKON NSR-2205I11D将这些图像传送到高度先进的自动步进处理器,该处理器旨在确保多个晶圆尺寸和光掩码配置的准确性和一致性。该单元将精度、准确性和可重复性与减少周期时间和尽量减少浪费的机器资源相结合。这是通过结合高级功能(如高级加载工具、双轴接口和横向移位)来实现的。双轴资产允许光刻工艺更精细的图像分辨率和更大的吞吐量,每个轴的运动范围为30微米,精度为正负1.4微米。横向移位特征可用于不同尺寸的晶片,允许任意尺寸基板的连续步进。NSR 2205I11D具有独特的驱动器模型,可确保光掩码和晶圆传输的高吞吐量。它采用双电机同步功能,可降低步进过程中晶圆碰撞的风险。步进器还提供先进的晶圆提升能力,通过位置控制晶圆提升,从而实现尽可能高的精度。设备提供每像素0.75像素的相对步进精度,每像素0.5像素的相对精度。NIKON NSR 2205 I11 D采用先进的通信系统设计,集成了在线监控和诊断功能。这使得运算符能够跟上设备性能,快速、及时地调试潜在问题。此外,该机器还设计了一个控制软件套件,可提供灵活的用户控制以及全面的工具数据分析和报告。NSR-2205 I11D是一种先进的自动步进资产,非常精确,可确保高吞吐量以获得最佳的成像结果。该模型专为半导体制造商和光刻工艺而设计,是这些应用行业中最受欢迎的系统之一。其先进的功能使其成为那些寻求可靠、准确和高效的自动步进设备的人的理想选择。
还没有评论