二手 NIKON NSR 2205 i11D #293619535 待售

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 293619535
晶圆大小: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR 2205 i11D是一种高度先进的晶圆步进器,旨在支持半导体和纳米技术行业的先进量产需求。这种步进器可靠性高、精度高、速度快,非常适合微电子器件的高通量预生产和批量生产。步进器具有许多功能,使其性能远远优于其他型号。NIKON NSR-2205I11D的光学系统使用先进的专有光学技术在基板上应用电子和光子。这样可以确保以最小的污染或变形精确放置图样。步进器还提供快速的舞台运动、精确的对准和快速的曝光。步进器有三个级,它们的精度和一致性可重复性可高达1.5 μ m/sec。这使得它能够以精确和统一的方式在基板上准确和快速地放置图样。该级还采用低EMI滤波器设计,以减少晶圆步进过程中的噪声和EMI干扰。步进器采用先进的CCD对准设备,提供卓越的精度和可重复性。这种自动校正系统补偿了错位,使得步进器高度可靠。该单元还监视基板高度,以保持每个图桉化层的最佳条件。NSR 2205I11D步进器利用了强大的晶圆处理器和基板定位机.晶圆处理器最多可控制五个6英寸晶圆,并能够将材料直接放置在基板的顶部和底部两侧。基板定位工具能够以高达9毫米/秒的速度移动基板,这有助于确保材料的精确放置。总体而言,NIKON NSR 2205 I11 D是一种先进的晶圆步进器,旨在满足半导体和纳米技术行业先进批量生产工艺的需求。其优越的光学性能、快速的舞台运动、精确的对准、灵活的晶圆处理程序以及基板定位资产,使其成为高吞吐量预生产和生产过程的理想选择。
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