二手 NIKON NSR 2205 i11D #293691303 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一种用于半导体制造的最先进的晶圆步进器。它具有先进的I-Line减速镜头设备、F2控制汽车生命安全功能、高分辨率和吞吐量以及全新的C1优化功能,以增强传输特性。这种晶片步进器能够在375nm至450nm的光源下工作，因此适合应用最现代的光刻工艺。它为您提供了广泛的曝光值,从0.1 mJ 100mW到超过5mJ （5000mW）。另外，步进器共有11个视场，并拥有共9个通道，具有3维奈奎斯特匹配和二进制编码，从而允许每个站点的选择性曝光。NIKON NSR-2205I11D的核心是具有自动匹配对准传感和微调跟踪系统的6通道光束,可实现所有模式场点的精确对准。步进头还配有激光干涉仪，用于精确定位图样场，以获得更高的高度精度。NSR 2205I11D还提供了出色的重复性和可靠性，因为它的刚性和刚性安装组件和其集成的晶圆卡带传送单元。步进头在低振动环境中工作,确保所有关键部件保持静止和稳定,从而提高吞吐量,减少打印错误。总体而言,NSR-2205I11D提供卓越的性能、出色的可重复性和广泛的实用程序,使其成为半导体生产的理想工具。步进器的高分辨率和吞吐量、总体视野和优化的控制机为用户提供了卓越的控制水平、准确性和灵活性。此外，其低振动环境和优越的湿蚀刻效果有利于实现低产量损失。