二手 NIKON NSR 2205 i11D #293762479 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一种先进的精密晶片步进器，设计用于所有类型的光刻、掩模对准和处理应用。步进器最大速度5 m/s，精度5纳米，分辨率0.31微米。NIKON NSR-2205I11D利用各种波长的4象限辐射源，包括248nm、193nm和157nm。步进器还支持各种口罩和光掩模,最大尺寸可达200 mm x 200 mm。它包括一个集成的视觉系统，允许复杂的模式被精确覆盖到晶圆上。步进器有一个内置的腔室进给系统，维持最佳的製程条件，以及一整套安全系统，使腔室可以在不同的製程间安全切换。NSR 2205I11D拥有高通量CCD相机，可以有效控制曝光时间、光束大小和能量以及舞台运动。步进器与所有标准现场总线系统兼容，并与强大的软件套件集成在一起，用于校准、数据管理和可视化。它还具有自动对齐功能，可用于通过精确对齐晶片和掩码来最小化未对齐。NIKON NSR-2205 I 11 D有一个简单的维护协议，并配备了一个大的工作区域，使并行转向最多可同时8个场。最后，它提供了创建个性化系统设置的能力，以满足特定应用的需求，让用户最大限度地提高吞吐量，达到最高水平的光刻精度。