二手 NIKON NSR 2205 i11D #293799138 待售
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ID: 293799138
Stepper
Total focus deviation: 0.263 µm
Astigmatism: -0.21 µm
Reticle blind: 0.5 mm to 0.7 mm
Focus calibration repeatability: 36 nm
Exposure power: 776.520 mW/cm²
Integrated exposure control: ≤1.0%
Illumination uniformity: 1.177%
Reticle rotation: 10 nm
Orthogonality: 0.074 sec
Wafer flatness: 0.89 µm
Inclination:
UR-LL: 0.051 µm
UL-LR: 0.006 µm
Pre-alignment repeatability:
X: 5.027 µm
Y: 6.615 µm
Y-Theta: 14.906 µm
Lens distortion:
X: 0.032 to 0.033 µm
Y: 0.026 to 0.020 µm
FIA Overlay:
X: 32 nm
Y: 28 nm
LSA Overlay:
X: 57 nm
Y: 31 nm
Stepping accuracy:
X: 22 nm
Y: 25 nm.
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是一种高精度光学机器,设计用于在生产级环境中对半导体器件进行阵列设计。先进的i11D技术允许更快的曝光时间和更高的分辨率,从而缩短开发时间并提高设备产量。NIKON NSR-2205I11D晶片步进器装有专有的双步对准系统（DUTAS），它使用两种不同的光学系统，允许曝光平面精确的步进对准晶片。此外，机器还提供批量和单次曝光过程，可以根据不同的基板和照明要求进行调整。NSR 2205I11D晶片步进器配备了两个2,000 W氙弧曝光灯、一个5kV汞曝光灯和一个液源照明器，在尺寸达410mm的曝光区提供均匀的波长定义辐照度。这种接触源的组合使机器能够处理各种基板如GaAs、ELO、SOI和Bragg反射器。该机还可用于绘制厚膜图案，包括SiLK、相片、石英膜。机器配备了三轴级，提供高达75毫米/秒的x-y级穿越速度和高达2纳米/步的z轴速度。高性能调平器可确保在各种条件下稳定的平台平行性,从而实现较高的位置精度和可重复性。NSR 2205 I11 D晶片步进器还配备了Autofocus和Pattern Recognition等高级控制功能，这两者都有助于确保高质量的模式和一致的晶片对晶片对齐。NSR-2205 I11D在NIKON专有的G2 i-Controller软件下运行,该软件可自动进行系统设置、曝光和对齐。直观的软件还有助于跨多种曝光类型的高效数据管理和对齐,并使用户能够灵活地自定义曝光剂量和曝光时间等设置。此外,NIKON可选的"轻型优化软件"可轻松优化各种基板的曝光参数,降低注册错误的风险并提高产量。NIKON NSR 2205 I 11 D晶圆步进器在生产级环境中提供了吞吐量、精度和灵活性的最佳组合。NSR-2205 I11 D具有先进的曝光参数、内置的自动对准功能和直观的G2 i-Controller软件,是寻求可靠光学步进器的设备制造商的绝佳选择。
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