二手 NIKON NSR 2205 i11D #9160391 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一种晶圆步进器，用于显微光刻工艺。该步进器具有准分子激光光源（248 nm波长），用于低反射和吸收特性。该设备还有一个减少投影光学元件，使用两个透镜来减少标线图像，并且与暗场、光场、焦点变化以及亮场等技术兼容。该激光器可实现高达300 ns的脉冲宽度的高功率可变光脉冲长度,非常适合用于可靠的阵列。这台机器有53 x 63厘米的大桌子尺寸，能够处理直径达200毫米的大晶片。为确保精确对准,它沿x和y轴的图样定位精度为0.5 μ m,场平面度为0.2 μ m,舞台可重复性≤ 0.5 μ m。它能够处理高达900 mJ/cm2的高功率激光曝光剂量。为了进一步提高生产率和吞吐量,它可以处理多达1000个晶圆/小时。NIKON NSR-2205I11D有一个用户友好的控制面板，带有直观的GUI，以更方便用户。该系统还与Auto-Tune等几种先进技术集成在一起，Auto-Tune是一种自动调整设备参数以提高精度和减少浪费的功能。此外,使用集成的Auto Recipe功能可以加快作业初始化和提高机器精度。这种先进的晶片步进器带有预先安装的Align-Checker引擎，它提供了孔检测和额外的图像分析功能。它还具有边缘检测功能，旨在检测薄膜区域的处理缺陷。另一个有用的功能是Serial Number Identity,它可以自定义作业编号和跟踪代码。NSR 2205I11D是一种可靠、高性能的晶圆步进器，非常适合半导体器件生产。它的高级功能和自动化功能大大提高了生产率和精度，而直观的用户界面使得它非常容易使用。