二手 NIKON NSR 2205 i11D #9160392 待售

NIKON NSR 2205 i11D是半导体工业中用于器件制造的先进曝光系统。由NIKON Precision开发，是一种紧凑且高精确度的步进器，用于在硅、玻璃、聚合物等多种晶片上进行高解析度的光刻胶层图样和曝光。NIKON NSR-2205I11D基于新开发的由紫外线（UV）-LED阵列和高性能冷凝器透镜组成的I线光源。该系统设计为提供均匀的光强度和带宽，非常适合光刻胶层的高精度图样曝光。它具有非常低的噪声水平，使得它适用于极其敏感的设备曝光过程。该系统精确度很高，4平方图像的最大覆盖精度为+/-15纳米，8平方图像的最大覆盖精度为+/-25纳米。此外,NSR的综合功能2205I11D使其能够降低线缘粗糙度（LER）并保持较低的DOF值。因此，它非常适合先进的设备制造工艺，如接触光刻和深紫外特征图样。步进器的刚性结构和较高的直线性，即使在连续运行过程中也能保证稳定运行。电源在低压下工作，大大降低电磁噪声。此外，出色的电机相位控制功能，使高精度的曝光具有1/1000度的可重复性和一个+/-2纳米精度。NIKON NSR 2205I 11D配备了大型晶片卡盘和低倾斜级,以确保步进器能够处理最苛刻的设备制造过程的重复性和吞吐量挑战。其纳米级定位精度确保了卓越的曝光均匀性、可重复性和精湛的成像质量。其配置还允许较大的聚焦深度，以实现镜头性能的低跨芯片变化。NSR-2205 I11D凭借其准确、可重复和可靠的性能提供了高水平的生产率。其坚固的设计使其适合于大容量晶圆加工,其特殊的特性使其能够满足当今半导体制造中最具挑战性的曝光要求。