二手 NIKON NSR 2205 i11D #9236906 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一种先进的晶圆步进器,专为在生产环境中需要极高精度和吞吐量的设备制造商而设计。这种晶片步进器利用光源技术和精密光学器件来精确控制遮罩图样的曝光。它可以处理高达4.5英寸的晶圆,同时具有高分辨率扫描模式和超高吞吐量的"高速扫描"模式。NIKON NSR-2205I11D晶片步进器利用全场照明设备，称为NSR Q-Illumination，能够沿X轴和Y轴传递非常均匀的光辐射，整个场的强度稳定。该系统能够在整个晶片上均匀曝光所有掩模图样,而与图样大小无关。此模型上的照明单元提供了多种级别的辐照度和焦点,大大有助于在0.5到10 µm的各种图桉尺寸上提高平版印刷性能。NSR 2205I11D还利用移相器进一步微调照明,甚至可以减少或消融遮罩图桉形状不良部分的凹口。使用此移相器可以更灵活地控制模式的曝光,从而实现更好、更均匀的精细特征分辨率。该模型的扫描模式提供了一种分辨率的选择,较高的分辨率能够实现7.5%的线性分辨率,从而为光刻工艺提供清晰度和精度。高速扫描模式非常适合高吞吐量过程,因为它能够以10%的线性分辨率每小时扫描多达30个晶圆。这种晶片步进器的尺寸不仅限于其照明机器，它还具有一个自动加载的样品级，能够有效、最精确地装卸晶片。它还拥有一个低振动自动聚焦级，可以精确检测样品表面，以获得最佳的曝光结果。对于那些需要精确而高效的晶圆步进器的人来说，尼康NSR-2205 I11D是完美的选择。它具有先进的光学、照明和扫描模式,可提供精确、均匀和高速的性能,这对于设备制造商在生产环境中非常宝贵。