二手 NIKON NSR 2205 i11D #9236907 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一种领先的晶圆步进器，旨在在半导体器件制造过程中提供高精度和可靠的性能。该系统能够利用视觉引导的先进对准技术，提供低于50 nm的配准精度和<3 μ m的覆盖精度。它还配备了NIKON先进的照明校正技术，通过自动检测局部照明和保持均匀性来提高生产率。此外,集成的现场扫描仪和增强散焦传输协议（EDTP）允许非常快速的曝光时间少于5秒。NIKON NSR-2205I11D可以支持所有类型的半导体工艺，包括深紫外光刻、干涉光刻、植入光刻和直接写光刻。该系统凭借其优越的光学性能和微步进精度，在快速设备制造过程中也能实现高性能。NSR 2205I11D还可用于干式和浸入式光刻,具有多种可用的狭缝类型,为最终用户提供了极大的灵活性。此外,NSR 2205 I 11 D还提供了多项操作创新,例如,它的实时焦点监视器允许将精度集中到1nm ±,而趋势模式检测则允许及早检测暴露错误。该系统还配备了NIKON Graphic Language，或NGL，用于自动晶圆处理和编程，以及DAS，或Delta Auto Search，用于绝对对齐。此外，晶圆步进器还拥有NIKON独特的螺旋微步进技术，它减少了暴露引起的扭曲并提高了生产率。在性能方面,NSR 2205 I11 D提供了一系列卓越的结果。Rayleigh Interval Optimizer提供了比传统照明解决方桉1.5X 2倍的吞吐量提升。晶圆步进器还具有0.6X放大倍率的最大磁场尺寸105.9mm和4X放大倍率的最小磁场尺寸41.1mm。其Step and Repeat Resolution（步进和重复解析）范围可达到0.112 μ m,可实现令人难以置信的精细解析度。总而言之,NIKON NSR-2205 I11D在设备制造方面提供了卓越的性能,并提供了一系列功能和性能增强功能,这是我们在这一领域中备受追捧的。无论是用于大规模生产还是用于小规模原型制作和开发,NIKON在现有的新功能和技术中都NSR-2205 I11 D因素,为最终用户提供卓越的性能和可靠性。