二手 NIKON NSR 2205 i11D #9236908 待售

ID: 9236908
晶圆大小: 6"
Stepper, 6" Reticle, 6" (2) Carriers Illumination: SHRINC3 Lamp illumination: Average power: 949.289 mW / cm² Uniformity: 1.752% Lens distortion: ±0.050 µm Maximum: X: 0.059 Y: 0.042 Minimum: X: -0.031 Y: -0.056 Field inclination: Within: 0.35 µm UL-LR, UR-LL: 0.2 µm AST: 0.25 µm Maximum: 0.276 µm Curvature: -0.016 µm UL-LR: -0.052 UR-LL: -0.032 µm.
NIKON NSR 2205 i11D是一种顶级晶圆步进器,旨在满足最苛刻的半导体制造需求。它配备了超精密的SR光学器件和高级对准设备,以确保每项工作都能获得准确、高效的结果。NIKON NSR-2205I11D是一种具有5轴分辨率的高性能晶圆步进器和高速驱动系统。它占地面积小,安装和操作简单,而其出色的光学单元提供卓越的图像质量。NSR 2205I11D能够处理3"至12"的基板,还可以容纳0.5微米定位精度的步进和重复对准作业。为了确保性能,NIKON NSR 2205I11D配备了多项功能。其i-line和DUV照明系统方便了紧密的可打印图像尺寸,其精密运动控制机提供了超快的步进和重复对准精度。NSR-2205 I 11 D还包括自动晶片与亮场LED检测器对准,以及用于改进设备控制的自动引用。为了保证最大吞吐量,NSR 2205 I11 D采用了多种创新技术。其高速晶圆处理功能由多种选项提供动力,包括负载锁定设计、板载工具和并行弹出机构。这样就可以将最大吞吐量提高到接近零的浪费水平。NIKON NSR 2205I 11D还配备了两个电子秤。这些功能可加快数据采集和控制速度,而内置控制工具可提供可重复的实时数据分析。此外,它的高级计算功能还可以通过功能强大且可定制的软件实现,从而实现对功能、晶圆方向、处理速度和准确性的精细控制。为了确保性能一致,NIKON NSR-2205 I 11 D还提供了许多操作功能。它的温度控制资产有助于确保稳定的环境持续更长的运行时间,而自定义蠕变监视器和iMode操作监视器的组合有助于提高性能。内置的自动对焦最大程度地提高了效率,而机器的内存管理功能有助于防止数据丢失。NIKON NSR 2205 I 11 D是一个令人印象深刻的晶圆步进器,提供卓越的精度、可靠性和吞吐量。它的特点为各种应用提供了出色的性能,使其成为满足最苛刻的半导体制造需求的理想选择。
还没有评论