二手 NIKON NSR 2205 i11D #9237613 待售

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是一种先进、高性能的成像设备,旨在满足先进半导体器件制造工艺的需求。该系统是可靠、经济高效的映像解决方桉,可提供更高的吞吐量和出色的分辨率。NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper具有最先进的KrF准分子激光曝光单元,专为具有大曝光场的高精度成像而设计。曝光源由直径150毫米的石英子框架组成，内含输出功率高达250 mW的KrF准分子激光器。激光曝光时间可精确控制在25-6000毫秒的范围内。NSR 2205I11D晶圆步进器具有极好的对准精度，具有XY亚微米分辨率和+/-0.5um的可重复性。其定位机是NIKON专利的High-Axes DDM（Dual DualMotor）设计的产物，以及直线电机，既延长了精度，也延长了最大加速度。除了精确对准外，可调节的聚焦机构也保证了独立于晶圆地形的最佳聚焦。NIKON NSR 2205I 11D晶圆步进器是一种极其精确的成像工具。它可以处理直径不超过12英寸的晶片，晶片库位于清洁室外。由于封闭式软件以及自动对齐和聚焦功能,自动化流程是可能的。对于高级设备制造应用,NSR-2205 I11 D Wafer Stepper具有内置OPC以及设计规则检查功能。使用NIKON NSR 2205 I 11 D晶圆步进器可以进行注释和测量。该资产配备了用于远程控制和操作的PC接口。此外，NIKON提供了自动缺陷检测能力和晶圆图样测量，这对于先进的设备制造过程至关重要。NIKON NSR-2205 I11 D晶圆步进器是任何先进半导体器件制造过程中必不可少的工具。其最先进的成像模型和卓越的精度提供了高精度成像和生产先进的半导体器件。