二手 NIKON NSR 2205 i11D #9237615 待售

NIKON NSR 2205 i11D是用于半导体制造的晶圆步进器。它是执行平版印刷过程的6轴设备。相机分辨率高达0.248nm,可实现高精度成像和对准。NIKON NSR 2205能够执行广泛的成像任务，包括全场曝光、点曝光和步进重复曝光。NIKON NSR 2205场大小为645 mm x 540 mm，全场吞吐量高达75晶圆/小时。它配备了无反射器步进器、远心光学对准系统、新型可偏转光学支架和工件加载单元。步进器具有极精确的曝光能力,螺距、位移和对准精度分别在0.01mm、0.01mm和0.1mRad之间。这些功能确保NIKON NSR 2205能够执行可靠的映像,并具有高吞吐量,可满足苛刻的作业要求。此外,NIKON NSR 2205还配备了最先进的图像数据收集机。该工具可全面测量打印的图样数据和基板上的图样。通过对这些数据的分析,可以确定打印图样的线宽和临界尺寸,精度为0.05 μ m。NIKON NSR 2205还能够捕获高质量的SEM图像。它配备了集成的光机照明设备，能够检测低对比度特征，对比度分辨率为3%。NIKON NSR 2205还附有集成的图像增强模型，能够在消除光噪声和失真的同时锐化图像。除了提到的功能外，NIKON NSR 2205还配备了高级控制和自动化功能。主机PC通过数字控制（NC）驱动程序与晶圆步进器通信,从而实现高级用户控制。此外,NIKON NSR 2205能够自动校准其光学器件,提供增强的成像体验。NIKON NSR 2205是一种先进的晶圆步进器，能够可靠地、准确地执行高吞吐量的成像任务。集成的光机照明设备和图像增强算法可实现高对比度成像。NIKON NSR 2205是任何半导体光刻工艺的理想选择。