二手 NIKON NSR 2205 i11D #9237616 待售

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是一种先进的高精度光刻设备。用于制作半导体基板上的精确图样。该系统由舞台、激光、步进电机和光学投影仪四个子系统组成。利用步进技术在晶圆尺度上制作精确的图桉零件。该单元设计用于24个晶片同时装卸，适合批量生产。NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper配备了舞台和激光源。该级提供了一个精确对准和制作图桉的精确平台。激光源用于产生具有多种波长的光，用于减少曝光时间和提高图样的精度。步进马达用于移动级和激光器。步进电动机具有高速度和精确度，能够在晶片上产生精确的图样。步进电动机由多个轴控制控制,使其能够精确定位晶片并对晶片进行阵列处理。步进电动机还具有自动高度调节功能，可提供与更高分辨率型号的自动互连。光学投影仪用于投影晶片上的图样。它由光纤和精密光学元件组成，以产生精细的图桉。它还具有高数值孔径（NA），用于提供更精确的模式和更高的分辨率。该机具有集成的对准和晶圆映射系统，能够精确定位晶圆以实现精细对准。该工具还可以执行打印文本、生成细线和导电图样、干蚀刻等多种图样任务。NSR 2205I11D Wafer Stepper具有自动对焦、高动态性能、25 µm扫描分辨率、传输扫描、半透明激光曝光等先进功能。它还具有一系列可定制的软件和硬件工具，用于促进晶圆处理。所有这些使NSR-2205 I11D晶圆步进成为一种强大而精确的光刻资产。