二手 NIKON NSR 2205 i11D #9237764 待售
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ID: 9237764
晶圆大小: 4"
Stepper, 4"
Panel: MPXIII
Chamber set temperature: Chamber / LLTC / IATC: 23°C
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Laser: 5517B
LSA Laser: 7 mw
ITV Camera: NIKON Original
OF Detection type: NIKON Original
No in-line
Wafer type: Flat
Wafer loader type: Type 2
Wafer condition: SAPPHIRE
Wafer carrier table: Right
FIA
Reticle size, 6"
Reticle library slot: 13 Slots (3 Slots bad)
No barcode & PPD
Control rack PCB
Computer type: VAX 4000 96
Fiducial mark
CDA / Vacuum pipe
STG Guide
SHRINC Lens wheel belt.
NIKON NSR 2205 i11D是为半导体行业的先进应用而设计的高端、多功能晶圆步进设备。这种装置能够取得优异的效果,最大分辨率为1.5nm或13.5 nm,产量为10倍。NIKON NSR-2205I11D提供了广泛的功能集和灵活性。它配备了一个创新的照明系统,提供自适应多镜头、双场和加速曝光技术,使曝光范围广泛,精度和精确度更高。该设备有一个主动轴控制平台和一套增强的缝合能力,允许无缝图案缝合和曝光。此外,该装置还包括自动光量控制,以提高特征精度.它具有高达180毫米的芯片大小,使大型基板和复杂的模式。此外,NSR 2205I11D还配备了高级成像拾取单元,可提供更好的图像清晰度和清晰度,以及更高的放大能力。NSR 2205 I11 D旨在提供可靠和优化的性能,同时提供高分辨率成像。它提供了先进的晶片定位,使设备能够补偿晶片的不同形状和位置误差。此外,它的设计目的是通过增强的误差减少来简化操作,从而使操作更加轻松快捷。NSR-2205 I11D是一台多功能机器,在一个软件包中提供多种特性和功能。它旨在满足从制造到模具检测等各种高端应用的需求。它提高了高精度和半导体操作的速度、准确性和效率,在广泛的生产过程中提供了无与伦比的性能。
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