二手 NIKON NSR 2205 i11D #9244218 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9244218
晶圆大小: 8"
Stepper, 8"
Basic version: MCSV
Option version: OCSV
Lamp power
Uniformity
Stepping
Overlay(LSA): lXl+3σ
Overlay(FIA): lXl+3σ
Reticle rotation: Repeatability
Lens distortion: Min~Max
Reticle blind
Main computer:
Computer system
Hard Disk Drive (HDD): DKA200,300
Disk drive: Tape (DAT)
Illumination type: 1.75 kW Lamp
Wafer stage:
Ball screw
Ring type chuck
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: FIX
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi point
Wafer loader:
Type 2
Flat type
Inline (Left)
Cassette (Left)
Control rack position: Right
Reticle loader, 6"+ extra
PPD2
Chamber type: S07
Temperature: 23°C
No bar code.
NIKON NSR 2205 i11D是一种高性能晶片步进器，设计用于单个晶片和群集晶片处理。本机采用强大的DUV光学设备设计，即使是最具挑战性的基板也能实现高精度处理。NIKON NSR-2205I11D具有新一代的步骤和重复系统,能够实现极高的分辨率。NSR 2205I11D拥有一个11兆像素传感器,可实现0.28 µm的对准,并配有一个大卡盘,可提供极好的重复性和准确性。这个步进器还有一个新开发的晶圆对准单元，可以自动检测晶圆的方向，允许重复精确的对准和放置光掩模。它还包括高速扫描机，使高通量和细致的基板检查。NSR 2205 I11 D由一个50MHz的NIS控制器和一个扫描仪马达提供动力，使其具有可靠和有效的运动控制。它还具有自动聚焦和缝合功能,可实现最高精度。利用NIKON NSR-2205 I 11 D,对晶片级和掩模台位置进行监控和校正,以实现零位置漂移。NIKON NSR 2205I11D是芯片生产的绝佳工具，使用户能够获得高度准确和可重复的对齐精度。它具有大量有用的功能,如高级自动对准、扫描、缝合和自动聚焦功能,以及I/O互锁,以防止损坏光学器件和基板表面。NIKON NSR-2205 I11D提供了高吞吐量、高精度和可靠性能的完美组合,使其成为最苛刻的芯片和半导体应用的理想选择。
还没有评论