二手 NIKON NSR 2205 i11D #9247255 待售

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是为半导体光学光刻工艺制造的先进成像设备。它是为晶圆对准和精确曝光而设计的，用于高端半导体器件的制造。作为NIKON的旗舰产品,步进器提供卓越的性能,并提供全面的高级功能组合。它能够在0.14 μ m的范围内实现多达5代设备几何形状,在所有光刻操作中均提供卓越的分辨率和准确性。该单元采用全新设计的光学舞台，提供高速、平稳的操作。它配备了一个"线扫描光圈"，这是一个独特的设备，能够精确对准晶圆，高速扫描模式高达30kHz。此外,该单元还包括一个专有的"高分辨率焦点图像监视器",它允许用户检测流程条件,从而提高流程的准确性。此外，NIKON NSR-2205I11D步进器利用了复杂的模式匹配算法，提供了在设备级实现完美配准的能力。这样可提高分辨率,分辨率高达1.4 nm。此外，该系统还设计用于各种不同的曝光，包括垂直和横向对准、双图样和双曝光。NSR 2205I11D的其他特殊功能包括高级扫描/激光模式、衍射误差校准模式、降噪模式和抗振零子功能。扫描/激光模式允许与高速激光器精确对准重迭图样,而衍射误差校准模式减少了与衍射相关的图样。最后，降噪模式和抗振子零函数对于防止变形和稳定晶片都很有用。总体而言,NIKON NSR 2205I11D Wafer Stepper是一种创新的、最先进的成像设备,专为先进的光刻工艺而设计。其无与伦比的功能集提供卓越的测量和过程控制，具有高分辨率，准确性和精确度。它非常适合高端半导体器件的生产过程,每次都能带来令人印象深刻的效果。