二手 NIKON NSR 2205 i11D #9251004 待售
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已售出
ID: 9251004
优质的: 1996
Stepper
MCSV Basic version: 2.31D
OCS Option: 2.18A
Main system: 2.42A
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Alignment
Main computer:
System: VAX4000.90A
Hard disk: DKA200, DKA300
Illumination type: SHRINC3
Revolver type: Conv, ann, small
Wafer stage:
Chuck type, 8"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Wafer loader, 8"
Loader type: Type2 (A3)
OF Type: Notch
Flatzone: 6 O'Clock
Cassette: Left and right
Control rack position: Right side
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Wafer flatness: 1.510 um
Wafer leveling:
X: -0.248 sec
Y: 0.049 sec
Reticle blind setting accuracy:
XP: 0.5 mm
Xm: 0.6 mm
Yp: 0.7 mm
Ym: 0.5 mm
Stepping:
3σ-X: 0.025 um
3σ-Y: 0.023 um
INC Adjustment:
Maximum-minimum: 0.311 um
Curvature: 0.010 um
UR-LL: -0.056 um
UL-LR: 0.081 um
DIS Adjustment:
Maximum-X: 0.037 um
Maximum-Y: 0.047 um
Minimum-X: -0.051 um
Minimum-Y: -0.044 um
Exposure power: 565 mw/cm²
Power uniformity: 0.934%
1996 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D是一种高性能晶圆步进器，设计用于先进的光刻光刻和检查应用。它由两个主要部件组成，一个高度先进的照明设备和一个先进的移动阶段。照明系统形成优化的投影透镜，将高分辨率的图样投射到半导体晶圆上，允许精确形成特征和更大的均匀性。透镜由水银弧灯支撑，在大面积上提供高度照明。光学元件包括激光二极管和一系列有助于提供均匀照明的透镜。照明单元还具有投影透镜十字准线，以提高精度。先进的移动阶段设计为使晶片在镜头表面平滑移动，提供高度的精度和可重复性。可以使用一系列参数对舞台进行编程,使其能够精确移动并达到所需的工作距离,同时仍提供所需的曝光时间。高级控制系统用于确保晶圆精确定位。NIKON NSR-2205I11D具有多种安全和维护功能,可确保其可靠性和使用寿命。其符合人体工程学的设计减少了操作员的疲劳，其内置的维护提醒机有助于减少停机时间。晶圆步进器还包括一个环境管理工具，监测和记录温度和湿度水平，以保护组件免受损坏。NIKON设计了NSR 2205I11D来提供高质量、高分辨率的图像。其先进的照明资产和移动阶段确保准确和统一的图像，同时其安全和维护特点确保可靠和持久的性能。NSR 2205 I 11 D适用于晶圆光刻、检验和计量在半导体制造设施中的应用。
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